Geräteausstattung: Nanostrukturierung

Nanostrukturierungs-Rakel

Herstellung von selbstorganisierten kolloidalen Nanokugel-Masken auf Festkörperoberflächen durch Bewegung eines Tropfens
Rakelapparatur:
- Fahrbare Substrathalterung
- Peltier-Probentisch mit einstellbarer Temperatur
- Plexiglas-Handschuhbox mit Trockengaseinlass
- Temperatur- und Luftfeuchte-Überwachung
- Einstellbarer Neigungswinkel der Rakelplatte
- In-situ Beobachtung mit Lichtmikroskop
- Rechnergestützte Steuerung

 

Neigungstrockner

Herstellung selbstorganisierter Nanokugel-Masken durch kontrolliertes Eintrocknen von kolloidalen Suspensionen
- heiz- und kühlbarer Probentisch
- kontrollierte Gasumgebung
- wählbarer Substratneigungswinkel
- in-situ Prozesskontrolle

 

Dip-Coater

Strukturierung komplex geformter Oberflächen
- PC-gesteuerte Beschichtungsgeschwindigkeit
- flexibler Aufbau

 

Spin-Coater

Flüssigphasendeposition von Polymeren und Lacken
- Drehzahlen von 20 bis 100 U/s

 

Ultrafiltration

Flüssigphasenaustausch kolloidaler Suspensionen
- Track-etch-Filter mit wählbarer Porengröße
- Inertgasbetrieb
- elektrische Leitfähigkeitsmessung

 

Optisches Maskeninspektionssystem

Automatische Bestimmung von Mono- und Doppellagenflächenanteilen sowie Domänengrößen
- Bilderfolgen
- für Masken bis 10 x 10 cm2
- PC-Steuerung von Probentisch und Datenaufnahme
- in-situ Modifikation von Maskenöffnungen

Gruppenleitung

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Prof. Dr. Jörg Lindner

Nanostrukturierung - Nanoanalytik - Photonische Materialien

Lehrstuhlinhaber

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