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Foto (Matthias Groppe): Holographie-Apparatur von Herrn Dr. Andreas Redler

Foto: Foto (Matthias Groppe): Holographie-Apparatur von Herrn Dr. Andreas Redler

Donnerstag, 26.04.2018 | 16.15 - 17.00 Uhr | Hörsaal A1

Brillante Wafer: Synthese und potentielle Anwendungen von einkristallinen Diamantscheiben

Dr. Matthias Schreck

Universität Augsburg

Diamant ist ein Festkörper mit einzigartigen physikalischen Eigenschaften. Sie begründen interessante technologische Anwendungen u.a. für Bauelemente in der Hochleistungselektronik. Bisher scheiterte die Entwicklung marktfähiger Produkte in diesem Bereich aber nicht zuletzt an der ungelösten Substrat-Frage. Bei den Bemühungen Einkristalle hoher struktureller Qualität in Wafer-Größe zu realisieren ist der Augsburger Diamant-Gruppe mit der Entwicklung des Multischichtsystems Diamant/Ir/YSZ/Si(001) im letzten Jahr ein wichtiger Fortschritt gelungen.
Der Vortrag wird zunächst eine Einführung in die Eigenschaften von Diamant sowie das Feld der Diamantsynthese mittels Chemischer Gasphasenabscheidung (CVD) geben. Es folgt eine kurze Darstellung der unterschiedlichen Ansätze um großflächige Substrate mittels Homoepitaxie bzw. Heteroepitaxie zu realisieren. Der Schwerpunkt liegt auf der Entwicklung der Heteroepitaxie mit Hilfe eines Si-basierten Schichtsystems, den Besonderheiten der epitaktischen Keimbildung von Diamant auf Iridium, der Rolle von Versetzungen beim Aufbau von intrinsischen Spannungen sowie der Reduzierung der Versetzungsdichte durch geeignete Wachstumsprozesse. Am Ende werden erste Schritte zur Kommerzialisierung (Startup: http://www.audiatec.de/) sowie potentielle zukünftige Anwendungen im Bereich Hochleistungselektronik und Quantenmetrologie vorgestellt.

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