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Photo Gallery: Cleanroom

Airlock at the entrance to the cleanroom
Chemical bench for wet processes
Oven for various baking and annealing processes
Mask aligner for lithographic processing
Loading the diffusion oven for Ti:LiNbO3 waveguide fabrication
Optical inspection for quality assurance
Evaporation machine for high quality, custom-designed optical coatings
head

Prof. Dr. Christine Silberhorn

Integrated Quantum Optics

Lehrstuhlinhaberin

Christine Silberhorn
Phone:
+49 5251 60-5884
Fax:
+49 5251 60-5886
Office:
P8.3.10

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