Geräteausstattung: Optische und elektrische Charakterisierung
Photolumineszenz-Spektrometer
- Anregung wahlweise mit Ar-Ne-Laser oder Weißlicht + Monochromator
- Detektion der reflektierten oder transmittierten Intensität
- Wellenlängenbereich 0,2-0,8µm
Zeiss Absorptionsspektrometer
- Beleuchtung: Halogen- oder Deuteriumlampe + Monochromator
- Wellenlängenbereich: 0,2 - 1,0µm
- Detektion der transmittierten Intensität mittels Sekundärelektronenvervielfacher
Optisches Reflektometer
- Beleuchtung: Weißlichtquelle + durchstimmbarer Monochromator
- Vierkreis-Goniometer zur Positionierung der Probe
- Halbleiterdetektor
- Anwendung: Kolloidkristalle
Weißlicht-Reflektometer
- Messung wahlweise in Transmission oder Reflektion
- Monochromator nach der Probe
Zeiss Lichtmikroskop für monochromatische Abbildung
- wahlweise in Transmission oder Reflektion
Fourier-Transformations-Infrarotspektrometer (FTIR): Bruker IFS 28
Leitfähigkeitsmessplatz
- sowohl 2-Punkt- als auch 4-Punkt-Messung möglich
- Positionierung der Spitzen mittels Mikromanipulatoren (Typ: PH100)
- elektronische Steuerung und Aufzeichnung
- Messung auch unter Lichteinstrahlung möglich (integrierter Sonnensimulator)
Sonnensimulator
- Xenon-Bogenlampe, 150 W, Ozon-frei
- Strahlungsintensität: 1 - 2 Sonnen
- Kollimierter Strahldurchmesser: 35 mm
- Filter: AM 1.5 global, 48°
Spreading-Resistance-Messplatz
- Messung des Ausbreitungswiderstandes am Schrägschliff
- 2-Punkt-Methode
- Tiefenprofile der elektrischen Leitfähigkeit von Halbleiterschichtsystemen