Jeol JEM-2000FX
- Beschleunigungsspannung: 80 - 200 kV
- Thermionische Elektronenquelle (zur Zeit Wolfram)
- Punkt-Auflösung ~0,3 nm
- Probenhalter: Einfachkipp-Halter, 2 Proben, max. Kippung +/- 30°
- Energiedispersives Röntgenspektroskopie-System: EDAX mit Be-Fenster
- FastScan CCD-Kamera (TVIPS)

Jeol JSM-6300F
- FEG-Emitter
- Beschleunigungsspannung: 0,2 - 30 kV
- Detektoren für Sekundärelektronen und Rückstreuelektronen
- Point-Electronic-Rastersteuerung und Datenaufnahmeeinheit

Bruker NanoWizard ULTRA Speed 3
- Messmodi: Kontaktmodus, Tapping-Modus, Forcemapping, erweiterte Spektroskopiemodi (inkl. verschiedener Force-Clamp-Modi und Rampen-Designs), MFM, EFM, elektrochemische Messungen sowie rasternde elektrochemische Mikroskopie (SECM)Scan-Geschwindigkeit: bis zu 1400 Linien/Sekunde in Flüssigkeit
- Piezorasterkopf: Verfahrbereich 30 µm in x und y, 6,5 µm in z
- Verfahrbereich des Probentisches: 20 × 20 mm²
- Maximale Probenhöhe: bis zu 140 mm
- Maximale Bildauflösung: bis zu 8192 × 8192 Pixel
- Atomare Auflösung im geschlossenen Regelkreisbetrieb
- Stretching-Stage (In-situ mechanische Prüfungen):
- Kraftbereich: 10 N bis 10.000 N
- Verfahrgeschwindigkeit: 0,006 bis 3 mm/min
- Maximaler Verfahrweg: 40 mm für Proben mit 5 mm Länge zwischen den Klemmbacken (Auflösung: 100 nm)

