Jeol JEM-2000FX
- Beschleunigungsspannung: 80 - 200 kV
- Thermionische Elektronenquelle (zur Zeit Wolfram)
- Punkt-Auflösung ~0,3 nm
- Probenhalter: Einfachkipp-Halter, 2 Proben, max. Kippung +/- 30°
- Energiedispersives Röntgenspektroskopie-System: EDAX mit Be-Fenster
- FastScan CCD-Kamera (TVIPS)

Jeol JSM-6300F
- FEG-Emitter
- Beschleunigungsspannung: 0,2 - 30 kV
- Detektoren für Sekundärelektronen und Rückstreuelektronen
- Point-Electronic-Rastersteuerung und Datenaufnahmeeinheit


