JEOL JEM-ARM200F: Cs-korrigiertes höchstauflösendes Feldemissions-TEM/STEM
- Beschleunigungsspannung: 30 - 200 kV
- Kalte Feldemissionsquelle
- Beleuchtungsseitiger Cs-Korrektor mit Aberrationskorrektur bis zur 5. Ordnung (CEOS ASCOR)
- TEM-Punktauflösung: 0,19 nm, Informationsgrenze: 0,11 nm
- STEM-Punktauflösung: 0,08 nm bei 200 kV, ≤  0,20 nm bei 30 kV
- Energieauflösung ≤ 0,30 eV (FWHM ZLP)
- 4k x 4k CMOS-Kamera (Gatan OneView)
- 2k x 2k CCD-Kamera (Gatan UltraScan)
- STEM BF-, ABF-, DF-, und HAADF-Detektoren
- 8-fach segmentierter STEM-DF-Detektor für differenzielle Phasenkontrastabbildung
- Energiedispersives Röntgenspektroskopie-System mit SDD-Detektor (JEOL)
- Post-column Energiefilter für EELS, Dual-EELS und EFTEM (Gatan GIF Quantum ER)
- Einfachkipp- , Weitwinkel- und analytischer Doppelkipp- Probenhalter

Jeol JEM-2000FX
- Beschleunigungsspannung: 80 - 200 kV
- Thermionische Elektronenquelle (zur Zeit Wolfram)
- Punkt-Auflösung ~0,3 nm
- Probenhalter: Einfachkipp-Halter, 2 Proben, max. Kippung +/- 30°
- Energiedispersives Röntgenspektroskopie-System: EDAX mit Be-Fenster
- FastScan CCD-Kamera (TVIPS)

Jeol JSM-6060
- W-Haarnadel-Emitter
- Beschleunigungsspannung: 0,2 - 30 kV
- Detektor für Sekundärelektronen
- EDAX-EDX für Elementanalyse mit Si-Driftdetektor (SDD) für Elemente ab Ordnungszahl 5
- 131 eV Auflösung
- Punktmessung; Linescan; Mapping

Jeol JSM-6300F
- FEG-Emitter
- Beschleunigungsspannung: 0,2 - 30 kV
- Detektoren für Sekundärelektronen und Rückstreuelektronen
- Point-Electronic-Rastersteuerung und Datenaufnahmeeinheit

Digital Instruments: Dimension 3100

- Probengröße 150 mm x 12 mm
- Probentisch Verfahrbereich x, y 150 mm mit 2 µm Auflösung
- Video-Optik mit Zoom 150-675 µm Blickfeld
- Piezorasterkopf: Bereich 90 µm in x, y und 6 µm in z
- 16 bits DAC, sub-nanometer Auflösung
- Max. 512 x 512 Pixel/Bild
- Kontakt- und tapping Mode AFM
- Kartierung der Leitfähigkeit

Kratos XSAM 800 (im Aufbau)
- Röntgenstrahlung: Mg-Kα, Al-Kα
- Monochromator für Al-Kα -> Energiebreite (FWHM)=0,3eV
- Vakuumsystem: Vorpumpe, Turbo-Molekular-Pumpe, Ionengetterpumpe, 2 Titan-Sublimationspumpen
- Erreichbarer Restdruck: 10^-8...10^-10 Torr