Ge­rä­te­ausstat­tung: Na­no­struk­tu­rie­rung

Na­no­struk­tu­rie­rungs-Ra­kel

Herstellung von selbstorganisierten kolloidalen Nanokugel-Masken auf Festkörperoberflächen durch Bewegung eines Tropfens
Rakelapparatur:
- Fahrbare Substrathalterung
- Peltier-Probentisch mit einstellbarer Temperatur
- Plexiglas-Handschuhbox mit Trockengaseinlass
- Temperatur- und Luftfeuchte-Überwachung
- Einstellbarer Neigungswinkel der Rakelplatte
- In-situ Beobachtung mit Lichtmikroskop
- Rechnergestützte Steuerung

 

Nei­gungs­trock­ner

Herstellung selbstorganisierter Nanokugel-Masken durch kontrolliertes Eintrocknen von kolloidalen Suspensionen
- heiz- und kühlbarer Probentisch
- kontrollierte Gasumgebung
- wählbarer Substratneigungswinkel
- in-situ Prozesskontrolle

 

Dip-Coa­ter

Strukturierung komplex geformter Oberflächen
- PC-gesteuerte Beschichtungsgeschwindigkeit
- flexibler Aufbau

 

Spin-Coa­ter

Flüssigphasendeposition von Polymeren und Lacken
- Drehzahlen von 20 bis 100 U/s

 

Ul­tra­fil­tra­ti­on

Flüssigphasenaustausch kolloidaler Suspensionen
- Track-etch-Filter mit wählbarer Porengröße
- Inertgasbetrieb
- elektrische Leitfähigkeitsmessung

 

Op­ti­sches Mas­ken­in­spek­ti­ons­sys­tem

Automatische Bestimmung von Mono- und Doppellagenflächenanteilen sowie Domänengrößen
- Bilderfolgen
- für Masken bis 10 x 10 cm2
- PC-Steuerung von Probentisch und Datenaufnahme
- in-situ Modifikation von Maskenöffnungen