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Department Physik
Foto (Matthias Groppe): Holographie-Apparatur von Herrn Dr. Andreas Redler
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Foto (Matthias Groppe): Holographie-Apparatur von Herrn Dr. Andreas Redler

Foto: Foto (Matthias Groppe): Holographie-Apparatur von Herrn Dr. Andreas Redler

Donnerstag, 06.07.2023 | 16.15 Uhr - 17.45 Uhr

Physikalisches Kolloquium: Optics for EUV lithography enabling high-end and micro-electronics

Dr. Hartmut Enkisch
Carl Zeiss SMT GmbH
Optics for EUV lithography enabling high-end and micro-electronics

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