UPB Bildmarke
Department Physik
Kontakt
  • Deutsch
  • English
    • Seite "Studium" öffnen
      • Seite "Studienangebot" öffnen
      • Studiengänge von A-Z
      • Physik (Bachelor of Science)
      • Materialwissenschaften (B.sc.)
      • Physik (Master of Science)
      • Optoelectronics & Photonics (M.sc.)
      • Materials Science (M.sc.)
      • Lehramt Physik
      • Physik als Nebenfach
      • Promotion
      • Seite "Formalitäten" öffnen
      • Bewerbung und Einschreibung
      • Termine und Fristen
      • Prüfungsordnungen
      • Zugangsvoraussetzungen
      • Übergang Bachelor Master
      • Anmeldung Masterarbeit
      • Studienort- oder Fachwechsel
      • Seite "Studienorganisation" öffnen
      • Vorkurs Physik
      • Vorlesungsverzeichnis
      • PAUL
      • Universitätsbibliothek
      • Sprachkurse
      • Auslandssemester
      • Seite "Lehre" öffnen
      • Vorlesungszeiten
      • Paderborner Physik Praktikum (Anfängerpraktikum)
      • Fortgeschrittenenpraktikum
      • Event-Physik
      • Vorlesungssammlung
      • Seite "Studieninteressierte" öffnen
      • Übersicht
      • PaderPhy Podcast
      • Laborbesichtigungen
      • SommerCamp Physik
      • Jungstudent
      • Seite "Beratung und Unterstützung" öffnen
      • Physiktreff
      • Sachunterrichtstreff
      • Fachschaft
      • Fachstudienberatung
      • Psychosoziale Beratung
      • Prüfungsausschuss
      • Prüfungssekretariat NW
      • PAUL-Beauftragter
      • Seite "Jobs und Finanzierung" öffnen
      • Stipendien
      • BAFöG
      • Studiendarlehen
      • Jobs in der Physik
      • Formulare: SHK-Vertrag
      • Jobs in Paderborn
      • Seite "Campus und Leben" öffnen
      • Physikalisches Kolloquium
      • Event-Physik
      • AStA-Sommerfest
      • Leben in Paderborn
    • Seite "Forschung" öffnen
      • Seite "Forschungsschwerpunkte" öffnen
      • Forschung im Profil
      • Sonderforschungsbereich TRR 142
      • CeOPP
      • PhoQS
      • Weitere Großprojekte
      • Übersicht der Arbeitsgruppen
      • Seite "Wissenschaftlicher Nachwuchs" öffnen
      • Promovieren in der Physik
      • Stellenausschreibungen
      • Gleichstellungsmaßnahmen
      • Promotionsausschuss
      • Promotionsordnung
      • Empfehlungen zur guten wissenschaftlichen Praxis
      • Alumni-Netzwerk des Departments Physik
      • Seite "Veranstaltungen" öffnen
      • Physikalisches Kolloquium
      • SFB-Kolloquium
    • Seite "Department" öffnen
      • Seite "Über das Department" öffnen
      • Kurzportrait
      • Nachrichten
      • Stellenausschreibungen
      • Ordnungen
      • Anreise / Lageplan
      • Seite "Organisation" öffnen
      • Departmentsleitung
      • Vorstand
      • Öffentlichkeitsarbeit
      • Prüfungsausschuss
      • Promotionsausschuss
      • Qualitätsverbesserungsausschuss
      • Sicherheitsbeauftragte
      • Lehrveranstaltungsmanager (Paul-Ansprechpartner)
      • Weitere Beauftragte
      • Übergreifende Gremien
      • Alumni-Netzwerk des Departments Physik
      • Seite "Einrichtungen" öffnen
      • Elektronik-Werkstatt
      • Feinmechanik-Werkstatt
      • Tieftemperaturversorgung
      • Vorlesungssammlung
    • Seite "Arbeitsgruppen" öffnen
      • Seite "Experimentelle Physik" öffnen
      • Prof. Dr. Donat As
      • Prof. Dr. Tim Bartley
      • Prof. Dr. Klaus Jöns
      • Prof. Dr. Jörg Lindner
      • Prof. Dr. Cedrik Meier
      • Prof. Dr. Dirk Reuter
      • Prof. Dr. Christine Silberhorn
      • Prof. Dr. Thomas Zentgraf
      • Seite "Theoretische Physik" öffnen
      • apl. Prof. Dr. Uwe Gerstmann
      • Dr. Xuekai Ma
      • Prof. Dr. Torsten Meier
      • Prof. Dr. Jörg Neugebauer
      • Prof. Dr. Arno Schindlmayr
      • Prof. Dr. Wolf Gero Schmidt
      • Prof. Dr. Stefan Schumacher
      • J.-Prof. Dr. Polina Sharapova
      • Prof. Dr. Jan Sperling
      • Seite "Didaktik" öffnen
      • Prof. Dr. Eva Blumberg
      • Prof. Dr. Josef Riese
      • Prof. Dr. Claudia Tenberge
Wichtige Links
  • Startseite
  • Studieninteressierte
  • International Students
  • Laborpraktikum 3P
  • Physiktreff
  • Kontakt
  1. Fakultät für Naturwissenschaften
  2. Department Physik
  3. Veranstaltungen
Zurück zur Veranstaltungsliste
Donnerstag, 06.07.2023 | 16.15 bis 17.45 Uhr

Phy­si­ka­li­sches Kol­lo­qui­um: Op­tics for EUV li­tho­gra­phy enab­ling high-end and mi­cro-elec­tro­nics

Beitrag teilen auf:

  • Teilen auf Instagram
  • Teilen auf Twitter
  • Teilen auf Facebook
  • Teilen auf Xing
  • Teilen auf LinkedIn
  • Teilen über E-Mail
  • Link kopieren

Dr. Hartmut Enkisch
Carl Zeiss SMT GmbH
Optics for EUV lithography enabling high-end and micro-electronics

Department Physik

Warburger Str. 100
33098 Paderborn
Deutschland

Telefon:

(0)5251 60 2679

E-Mail:

physik@upb.de
Schnellzugriffe
  • SommerCamp
Universität Paderborn

Warburger Str. 100
33098 Paderborn
Deutschland

Telefon Universität

+49 5251 60-0
Rechtliches
  • Impressum
  • Datenschutz
  • Hinweisgebersystem
Soziale Netzwerke